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    凈化車間施工注意對潔凈室溫濕度的把控

    欄目:技術知識 發布時間:2021-01-25 瀏覽量: 359
    凈化車間

    凈化車間施工注意對潔凈室溫濕度的把控

    來源:凈化車間  發布時間: 2015/6   點擊:10828

    做一項凈化車間施工,一定要對潔凈空間的溫濕度做好合理的把控。隨著環境的不斷惡化,人們對空氣潔凈度要求的不斷提高,凈化工程對溫濕度的要求也越來越嚴格。

    具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。

    直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。

    濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。

    此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產較佳溫度范圍為35—45%。


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